คู่มือเวเฟอร์แซฟไฟร์: ข้อมูลจำเพาะ ขั้นตอนการขัดเงา และการตรวจสอบผู้ซื้อ

จริงๆ แล้ว เวเฟอร์แซฟไฟร์คืออะไร

เวเฟอร์แซฟไฟร์เป็นแผ่นบางๆ ของอะลูมิเนียมออกไซด์ผลึกเดี่ยวที่จัดวางบนระนาบผลึกศาสตร์ โดยคว้านแกนจากลูกเปตองที่โตแล้ว หั่นเป็นชิ้น ขัด และขัดเพื่อให้ได้ความหนา ความเรียบ และพื้นผิวที่ควบคุมได้

แซฟไฟร์ไม่ใช่ทั้งแก้วหรือสารเคลือบ มันเป็นผลึก Al2O3 ซึ่งเป็นวัสดุของคอรันดัม ซึ่งเป็นเหตุผลว่าทำไมแผ่นเวเฟอร์ที่เสร็จแล้วจึงรวมความแข็ง Mohs 9 เข้ากับช่องว่างของแถบความถี่ใกล้ 8.6 อีวี และการส่งผ่านที่มีประโยชน์ตั้งแต่ประมาณ 0.19 ถึง 5.5 ไมโครเมตร

การวางแนวเป็นการตัดสินใจครั้งแรกในการวาดภาพใดๆ เนื่องจากจะเป็นการแก้ไขสิ่งที่สามารถเติบโตบนพื้นผิวได้ และวิธีการทำงานของแผ่นเวเฟอร์ภายใต้ภาระความร้อน

• c-plane (0001): ค่าเริ่มต้นสำหรับ GaN LED และ microLED epitaxy โดยที่พื้นผิวหกเหลี่ยมตรงกับเครื่องกำจัดขน
• r-plane: ใช้สำหรับซิลิคอนออนแซฟไฟร์ซึ่งมีฟิล์มซิลิกอนบาง ๆ สะสมอยู่แบบเฮเทอโรเอพิแทกเซียล
• a-plane และ m-plane: การวางแนวการวิจัยแบบไม่มีขั้ว ใช้ได้แต่ยากกว่าที่จะขัดให้ได้ความหยาบเท่าเดิม
• ออฟคัท: 0.2 องศาไปทางแกน a เป็นคำขอ MOCVD ทั่วไป ในขณะที่ 4 องศาจะปรากฏในงานเฉพาะของอุปกรณ์ ยึดพิกัดความเผื่อไว้แน่น เนื่องจากการดริฟท์ออฟคัทจะเปลี่ยนโครงสร้างขั้นตอนระหว่างการเติบโต

เส้นผ่านศูนย์กลางและความหนาเดินทางด้วยกัน ขนาดทั่วไปคือ 50.8 มม., 100 มม., 150 มม. และ 200 มม. โดยมีความหนาเพิ่มขึ้นจากประมาณ 430 ไมโครเมตรที่ 2 นิ้วเป็น 650 ที่ 4 นิ้วและมากกว่า 1 มม. ที่ 6 นิ้ว เพียงเพราะว่าแผ่นบาง ๆ ของผลึกที่เปราะจะไม่ทนทานต่อการใช้งานตามปกติ

เวเฟอร์แซฟไฟร์ในเส้นผ่านศูนย์กลางและความหนาทั่วไป ตรวจสอบตัวเลือกเวเฟอร์แซฟไฟร์ผลึกเดี่ยวตั้งแต่ 2 ถึง 8 นิ้ว พร้อมข้อกำหนดด้านความหนา พื้นผิว และความเรียบสำหรับซับสเตรตออปโตอิเล็กทรอนิกส์และ LED ดูผลิตภัณฑ์ →

จากลูกเปตองไปจนถึงเวเฟอร์ Epi-Ready

เวเฟอร์แซฟไฟร์ผลิตขึ้นในหกขั้นตอน และแต่ละขั้นตอนจะทิ้งลายนิ้วมือไว้ในใบรับรองที่จัดส่งพร้อมกับล็อตสินค้า

ข้อมูลจำเพาะที่ตัดสินใจเรื่องผลผลิต

ตัวเลขสี่ตัวตัดสินการตัดสินใจในการยอมรับมากที่สุด ได้แก่ การเปลี่ยนแปลงความหนาทั้งหมด ส่วนโค้งและการบิดงอ ความหยาบด้านหน้า และความทนทานต่อการวางแนว ทุกสิ่งทุกอย่างในรูปวาดสนับสนุนทั้งสี่สิ่งเหล่านั้น

แซฟไฟร์ ซิลิคอน และควอตซ์เคียงข้างกัน

แซฟไฟร์เป็นสารตั้งต้นในการเลือกว่าเวเฟอร์จะต้องทนต่อความร้อน เคมี หรือแสงเมื่อใด ไม่ใช่เมื่อต้องนำไฟฟ้า

ตัวเลขความร้อนคือตัวเลขที่ทำให้ทีมออกแบบประหลาดใจ แซฟไฟร์นำความร้อนได้แย่กว่าซิลิคอนประมาณสี่เท่าและดีกว่าควอตซ์หลอมรวมประมาณยี่สิบห้าเท่า ซึ่งสามารถใช้ได้กับตัวปล่อยพลังงานต่ำเพียงตัวเดียวและเจ็บปวดสำหรับอาร์เรย์พลังงานสูงที่มีความหนาแน่นสูง คุณสมบัติดังกล่าวกระตุ้นให้เกิดความสนใจอย่างมากในวัสดุพิมพ์ที่มีลวดลาย การถ่ายโอนฟิล์มบาง และการเชื่อมติดแผ่นเวเฟอร์

เวเฟอร์ควอตซ์สำหรับการใช้งานเชิงแสงและเซมิคอนดักเตอร์ เปรียบเทียบเวเฟอร์ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่มีการขยายตัวทางความร้อนต่ำและความโปร่งใสของ UV ถึง NIR สำหรับการใช้งานท่อนำคลื่น, MEMS, เซมิคอนดักเตอร์ และส่วนประกอบทางแสง ดูผลิตภัณฑ์ →

ที่ซึ่งเวเฟอร์แซฟไฟร์ได้ราคาของมัน

วัสดุซับสเตรตแซฟไฟร์จ่ายเองในตระกูลการใช้งานสี่กลุ่ม โดยแต่ละกลุ่มมีคุณลักษณะเด่นที่แตกต่างกัน

แซฟไฟร์ Optical Windows for Protective and Filtering Uses ดูพื้นผิวหน้าต่างแซฟไฟร์ที่มีความต้านทานรอยขีดข่วน ความโปร่งใสสูง และการกรองความยาวคลื่นสำหรับเลเซอร์ โฟโตไดโอด และระบบสื่อสารไฟเบอร์ออปติก ดูผลิตภัณฑ์ →

สิ่งที่ต้องตรวจสอบก่อนสั่งซื้อ

การตรวจสอบห้าครั้งจะตรวจพบปัญหาส่วนใหญ่ก่อนที่ล็อตจะไปถึงจุดตรวจสอบที่เข้ามาของคุณ

หากข้อกำหนดไม่ชัดเจน ให้แก้ไขในขั้นตอนการวาดภาพ ส่งแบบและปริมาณของคุณให้กับทีมวิศวกรของเรา และวิธีการปฐมนิเทศ การตกแต่ง และวิธีการตรวจสอบสามารถแก้ไขได้ก่อนเสนอราคา แทนที่จะแก้ไขหลังการส่งมอบ

คำถามที่พบบ่อย